02. Cleanroom

< Cleanroom >

cleanroom 구조

• 보통 cleanroom은 고기압을 유지함
  1. 먼지를 아래로 눌러버림
  2. 문을 열어도 밖에 있는 공기가 안으로 밀려오기 보다는 밖으로 쉽게 밀려나도록 설계됨
• 바닥으로 먼지를 눌러
  • 그래서 지상으로 어느정도 떨어진 위치에 모든 것(work area / work space)들이 있음

 

< Yellow room >

yellow room

•  PR (Photoresist)은 단파장의 빛과 잘 반응함
• 즉, 빛에 예민한 PR이 빛에 의해 원하지 않는 방향으로 바뀌는 것을 방지해야함.
• 파장이 가장 긴 빛은 붉은색인데 심리적으로 사람에게 좋지 않은 영향을 미친다 하여 노란색 조명을 사용하여 Yellow room을 만들었다함.

 

< Class >

• 1ft x 1ft x 1ft 정육면체 공간의 0.5um 이상의 미세먼지 개수로 class를 따짐.
• 왜 class를 유지하는게 중요한가?
  • 만약 litho 1번당 수율이 90%가 나온다고 가정하자.
  • 7번의 litho 공정을 거치면 (0.9)^7 = 0.48의 수율이 나온다. 즉, 이윤이 발생하기 어려움
  • 그래서 수율 관리가 매우 중요함! ⇒ cleanroom의 class를 낮춰 Cleanliness를 높인다.

 

< FOSB, FOUP >

FOSB, FOUP

• FOSB : Front Open Shipping Box → 배송을 위한 box라고 생각
• FOUP : Front Open Unified Pod → 공정 모듈에서 돌고있으면 FOUP이라고 부름
• 내부에 있을 수 있는 먼지나 가스 등을 질소를 불어넣어 빼준다
  • 왜 질소냐?
    • 제일 싸고 구하기 쉬움
    • 안정적 기체라서 반응하지 않음

FOUP

• FOUP의 커버 색을 다르게 해서 외부에서 들어오는 빛을 차단함
  • 빛에 예민한 물질이 발라져 있는 애들 전용
  • 얘네 덕분에 yellow room을 따로 쓰지 않을 수 있음

OHT

• OHT (Overhead Hoist Transport)
  • 기계가 잡고 이동시킴 (자율 주행 시스템)
  • 대략 5m/s 속도로 움직임

이 장비들 덕분에 Cleanroom의 관리가 편해질 수 있음!