FOUP (1) 썸네일형 리스트형 02. Cleanroom 보통 cleanroom은 고기압을 유지함먼지를 아래로 눌러버림문을 열어도 밖에 있는 공기가 안으로 밀려오기 보다는 밖으로 쉽게 밀려나도록 설계됨바닥으로 먼지를 눌러그래서 지상으로 어느정도 떨어진 위치에 모든 것(work area / work space)들이 있음 PR (Photoresist)은 단파장의 빛과 잘 반응함즉, 빛에 예민한 PR이 빛에 의해 원하지 않는 방향으로 바뀌는 것을 방지해야함.파장이 가장 긴 빛은 붉은색인데 심리적으로 사람에게 좋지 않은 영향을 미친다 하여 노란색 조명을 사용하여 Yellow room을 만들었다함. 1ft x 1ft x 1ft 정육면체 공간의 0.5um 이상의 미세먼지 개수로 class를 따짐.왜 class를 유지하는게 중요한가?만약 litho 1번당 수율이 90%가.. 이전 1 다음
